Suché mechanické vákuové čerpadlá majú široké uplatnenie, predovšetkým v nasledujúcich oblastiach:
v procese prípravy polysilikónu v rámci nízkotlakových{0}}systémov na chemické pokovovanie (LPCVD);
V procesoch leptania polovodičov. Tieto výrobné procesy často zahŕňajú použitie alebo tvorbu korozívnych plynov a abrazívnych častíc;
V určitých procesoch-vytvárania častíc-mimo polovodičového priemyslu-, kde je nežiaduce, aby sa častice zmiešali s olejom v čerpadle, a namiesto toho je žiaduce, aby boli z čerpadla vytlačené; na splnenie týchto požiadaviek možno použiť špecifické typy suchých mechanických vývev;
V destilačných, sušiacich, odplyňovacích a baliacich operáciách v chemickom, farmaceutickom a potravinárskom priemysle, kde je potrebné zabrániť kontaminácii organickými rozpúšťadlami, sú vhodnou voľbou suché vývevy;
Ako pred-čerpadlá (čerpadlá na hrubovanie) vo všeobecnosti bezolejové-čisté vákuové systémy, aby sa zabránilo kontaminácii oleja.
